Technologietransfer
Produkt/Technologieangebote des IPP
Programm SIMNRA zur Analyse
der Zusammensetzung von Festkörperoberflächen mittels Ionenstrahlanalyse
Die oberflächennahe Zusammensetzung von Proben lässt sich durch die Energieanalyse reflektierter Ionen mit Energien mit Bereich von einigen Megaelektronenvolt bestimmen. Diese "Ionenstrahlanalyse" kann neben der genauen Zusammensetzung von Festkörperoberflächen auch die Tiefenverteilung einzelner Elemente bestimmen. Die Ionenstrahlanalyse eignet sich insbesondere zur Vermessung von Schichtstrukturen, wie sie häufig in der Halbleitertechnologie vorkommen.
Zur Auswertung gemessener Spektren wurde im IPP das Programm SIMNRA entwickelt. Im IPP wird das Programm dazu benutzt, die Veränderungen der Oberflächen von Experiment-Bauteilen zu untersuchen, die stark vom Plasma belastet werden, zum Beispiel Divertorkacheln. Inzwischen wohl das führende Programm für Analysen dieser Art, wurde es seit seiner Entwicklung im Jahr 1997 ungefähr 80 mal in alle Welt verkauft. Es findet hauptsächlich Anwendung für die Analyse von Halbleitern und der entsprechenden Herstellungsprozesse, beispielsweise zur Untersuchung amorpher Solarzellen oder epitaktisch abgeschiedener Schichten sowie zur Bestimmung von Konzentration und Tiefenverteilung von Dotierungsatomen.
Kontakt: Dr. Matej Mayer
Ihre Ansprechpartner:
IPP-Technologietransferbeauftragte
Eva Pisselhoy
Tel.: 089-3299-1293
Max-Planck-Innovation GmbH
Amalienstr. 33
80799 München
Tel.: 089-290919-0
Fax.: 089-290919-99
info@max-planck-innovation.de
Die oberflächennahe Zusammensetzung von Proben lässt sich durch die Energieanalyse reflektierter Ionen mit Energien mit Bereich von einigen Megaelektronenvolt bestimmen. Diese "Ionenstrahlanalyse" kann neben der genauen Zusammensetzung von Festkörperoberflächen auch die Tiefenverteilung einzelner Elemente bestimmen. Die Ionenstrahlanalyse eignet sich insbesondere zur Vermessung von Schichtstrukturen, wie sie häufig in der Halbleitertechnologie vorkommen.
Zur Auswertung gemessener Spektren wurde im IPP das Programm SIMNRA entwickelt. Im IPP wird das Programm dazu benutzt, die Veränderungen der Oberflächen von Experiment-Bauteilen zu untersuchen, die stark vom Plasma belastet werden, zum Beispiel Divertorkacheln. Inzwischen wohl das führende Programm für Analysen dieser Art, wurde es seit seiner Entwicklung im Jahr 1997 ungefähr 80 mal in alle Welt verkauft. Es findet hauptsächlich Anwendung für die Analyse von Halbleitern und der entsprechenden Herstellungsprozesse, beispielsweise zur Untersuchung amorpher Solarzellen oder epitaktisch abgeschiedener Schichten sowie zur Bestimmung von Konzentration und Tiefenverteilung von Dotierungsatomen.
Kontakt: Dr. Matej Mayer
Ihre Ansprechpartner:
IPP-Technologietransferbeauftragte
Eva Pisselhoy
Tel.: 089-3299-1293
Max-Planck-Innovation GmbH
Amalienstr. 33
80799 München
Tel.: 089-290919-0
Fax.: 089-290919-99
info@max-planck-innovation.de
[ Stand 18.08.2010 | Verantwortlich | Sitemap | IPP-Home | Impressum]