Publikationen von K. Lange
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Zeitschriftenartikel (1)
1.
Zeitschriftenartikel
34 (4B), S. 2163 - 2171 (1995)
Mechanisms of the Deposition of Hydrogenated Carbon Films. Japanese Journal of Applied Physics Part 1: Regular Papers, Short Notes & Review Papers Konferenzbeitrag (1)
2.
Konferenzbeitrag
Ion and Neutral Fluxes onto the Substrate from a DC Discharge in Methane. In: 11th International Symposium on Plasma Chemistry. Symposium Proceedings, S. 1266 - 1271 (Hg. Harry, J. E.). 11th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 11), Loughborough, 22. August 1993 - 27. August 1993. (1993)
Bericht (1)
3.
Bericht
Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten. Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Garching (1995), 132 S.