Publikationen von A. Friedl

Friedl, A.; Fukarek, W.; Möller, W.; Koch, A.: In situ characterization of plasma‐deposited a‐C:H thin films by spectroscopic infrared ellipsometry. Review of Scientific Instruments 65 (9), S. 2882 - 2889 (1994)

Friedl, A.: Aufbau eines in-situ-IR-Spektralellipsometers zur Charakterisierung plasmadeponierter C:H-Schichten.- Design of an in-situ spectroscopic IR ellipsometer for characterization of plasma-deposited C:H films. Dissertation, Technische Universität München, München (DE) (1994)

Friedl, A.: Aufbau eines in-situ-IR-Spektralellipsometers zur Charakterisierung plasmadeponierter C:H-Schichten.- Design of an in-situ spectroscopic IR ellipsometer for characterization of plasma-deposited C:H films. Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Garching (DE) (1994), 91 S.