Röntgenphotoelektronspektroskopie

Die Röntgenphotoelektronenspektroskopie ermöglicht die Analyse der atomaren Zusammensetzung und der chemischen Bindungsverhältnisse einer Probe in unmittelbarer Oberflächennähe.


Das Bild zeigt die XPS-Anlage  des Bereichs Plasmarand und Wand am IPP Garching. Ein Blick durch das Fenster ins Zentrum der Ultrahochvakuumanlage zeigt eine Wolframprobe die gerade untersucht wird. Gemäß ihrem Namen – XPS ist das englische Akronym für Röntgenphotoelektronspektroskopie – ist die Anlage mit mehreren Röntgenquellen (links im Bild) und einem Elektronendetektor ausgestattet. 

Die Methode der Röntgenphoto­elektronspektroskopie erlaubt es, die chemische Zusammensetzung der obersten Atomlagen zu bestimmen. Sie ist damit optimal geeignet um Oberflächenveränderungen zu untersuchen, wie sie beim Kontakt mit einem heißen Plasma entstehen. Oben rechts im Bild erkennt man auch eine der Ionenquellen. Diese erzeugen einen Strahl aus geladenen Teilchen und erlauben es so, den Kontakt von Oberflächen mit einem Plasma während der Messung und unter genau definierten Bedingungen nachzustellen.

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